LGB系列干式螺杆真空泵参数

产品概述

LGB系列干式螺杆真空泵，是一种无油干式机械真空泵。泵腔内不需要任何润滑油，依靠一对同步反向旋转的螺杆相互啮合（但不接触）来抽气，气体在螺旋槽内逐级被推送至排气口排出。它运转平稳、噪音低、极限真空高，是可以替代传统水环真空泵、罗茨真空机组、油封式机械泵的新一代洁净真空获得设备，尤其适合半导体、电子、医药、化工、食品等对真空洁净度要求高的场合。

工作原理

电机通过齿轮箱带动两根螺杆同步、反向高速旋转。泵壳与相互啮合的螺杆螺旋面之间，把螺旋槽分隔成一个个密闭腔室，形成多个抽气级。气体从进气口进入后，被等螺距的螺旋腔连续、匀速地向排气口方向推移，在推移过程中不断被压缩，最终从排气口排出。

两根螺杆经过动平衡校正，由轴承支撑安装在泵壳内部。螺杆与螺杆之间、螺杆与泵体之间都留有均匀的微小间隙，运行时互不接触、不发生摩擦，因此振动小、噪音低、寿命长，整个工作腔内完全没有润滑油参与。

产品特点

• 结构紧凑，占地面积小：整机集成电机、齿轮箱、泵体为一体，安装占地远小于"水环泵＋气水分离器＋罗茨泵"的机组形式。
• 泵腔内无油，真空系统零污染：抽气过程不带油雾、不带油蒸气，特别适合对洁净度敏感的半导体、电子、光伏、制药工艺，能有效提高成品良率。
• 彻底告别乳化和频繁换油：不存在水环泵冬季结冰、夏季水乳化、油封泵冒油烟的问题，不用天天补水、换油、清水箱，日常维护量大幅下降。
• 无废水、废油排放，更环保：不用循环水、不用排油，适合环保要求高的车间和洁净厂房。
• 可抽大量水蒸气和少量粉尘气体：泵腔耐水汽、不结垢；在前端加装冷凝器、粉尘捕集器等附件后，还能抽除易燃易爆、有轻微腐蚀性及放射性气体。
• 极限真空高，可替代大部分罗茨—水环机组：极限真空可达5 Pa，单机即可达到过去需要"水环泵＋罗茨泵"两级机组才能达到的真空度，省去机组并联、管路布置的麻烦。

技术参数

注：以上参数基于20℃、标准大气压工况；实际抽气速率随入口压力变化，详见产品特性曲线。

典型应用领域

• 半导体、电子、光伏：单晶炉、电子束蒸发、镀膜、离子注入、封装工艺抽真空；
• 医药、化工：真空干燥、真空蒸馏、减压浓缩、溶剂回收，抽除有机溶剂蒸气；
• 食品、轻工：真空包装、真空脱水、冻干；
• 机械、建材：真空吸附、真空成型、压铸脱气、混凝土真空作业；
• 环保、特殊气体：在加装防爆、防腐、尾气处理附件后，可抽除易燃易爆、腐蚀性及微量放射性气体。

选型建议

• 按工况所需抽气速率选：先看工艺要求的抽气量，再留15%~20%余量；
• 按被抽气体性质选：含水蒸气量大的，建议前端配冷凝器；含粉尘的，必须加粉尘捕集器；有腐蚀性的，需定制防腐泵腔；
• 按真空度要求选：LGB单机即可达到5 Pa极限，若工艺需要更高真空（<1 Pa），建议在前端串联罗茨真空泵组成机组；
• 安装时建议进气口加装真空软连接和真空阀，排气口接尾气排放管，避免振动和油气回串。